半導體產業

半導體被廣泛應用於智慧型手機、電腦、通訊、交通、醫療等各個領域,對我們的生活與社會發展不可或缺。近年來,隨著 AI、自動駕駛、元宇宙等新興科技的興起,對大量且高階的數據處理需求與日俱增,進而帶動了半導體性能提升與產量的擴大。生產半導體的半導體製造設備,其組件形狀多樣,材質也從不鏽鋼、鐵、鋁等常見材料,到難加工脆性材料的石英玻璃、碳纖維等特殊材料應有盡有,因此對加工技術的要求極高。Mazak在半導體產業擁有豐富的經驗和成就,以穩健的技術與產品實力,提供客戶高度可靠的系統解決方案。

半導體製造設備零件加工案例

隨著半導體微細化與積層化日益加速的進展,開發次世代半導體製造技術的相關研究也愈發熱絡。Mazak針對半導體前段製程設備零件所需的微細加工、耐腐蝕性難削材與脆性材加工技術、切屑處理系統以及自動化專業知識提出解決方案,以滿足客戶對高品質、高效率生產的需求。

石英玻璃坩堝
渦輪分子泵
加熱器(碳/石墨)
閘閥
真空腔體
晶圓傳輸手臂
晶圓定位系統
靶材背板(冷卻板)
氣體擴散板

適用於製造各種零件的Mazak工具機與自動化系統

我們提供從量產到多樣生產的自動化系統解決方案,包含機器人協作、獨家系統軟體等,實現一站式服務。系統能穩定運行,長時間保持高精度。

PALLETECH 系統

VARIAXIS i系列與HCN NEO系列所構成的Palletech系統,
結合車削功能的5軸加工機與臥式加工中心機所的自動化生產系統

脆性材料加工

搭載防塵設計,能有效防止石英玻璃、碳纖維等脆性材料加工時產生的微細切屑和污泥進入機台內部。此外,我們還提供乾式加工的集塵系統和濕式加工的過濾系統,並擁有豐富的產品線滿足量產需求。

MEGA TURN 系列

立式CNC車床
高效加工圓柱零件,如法蘭、板材

FJV 系列 (BT50)

高精度門型加工中心機
運用門型結構的優勢,提供能處理大型工件的多樣化工作台尺寸選擇

刮削加工

透過5軸加工機或複合加工機,真空腔體的加工能一次完成,從車削、銑削到刮削加工,以往需要多台機器進行多道工程的加工,現在可以用一台機器來完成。

VARIAXIS i 系列

5軸同動控制 立式加工中心機
能夠應對真空腔體、板材、晶圓傳輸零件等各種不同類型的零件加工

INTEGREX e-V 系列

5軸同動控制 立式複合加工機
從車削到多面加工、5軸加工甚至精密的刮削加工,能整合多道加工工程,一機完成

HCN NEO 系列

高速、高精度 臥式加工中心機
能夠加工真空槍體、閥門等多種種類的零件加工,也能進行精密的刮削加工

複雜形狀的加工

Mazak複合加工機能夠在一次夾持的狀態下,完成真空泵浦葉輪等複雜形狀的零件加工,不需要分工程進行。
對於乾式真空泵浦的轉子軸,該加工機可以將車削、銑削等多道工程整合在一起,大幅縮短生產週期。

INTEGREX i-H 系列

5軸同動控制 臥式複合加工機
從車削到Y軸、B軸的5軸加工,可整合多道加工工程,一機完成

INTEGREX e-H 系列

適用於長尺寸和大直徑工件 臥式複合加工機
搭載Y軸長行程,適用於大型工件加工,並配備高功率車削主軸與銑削主軸,擴大加工能力

高精度加工 / FSW (摩擦攪拌銲接)

・CNC車床適合加工像是冷卻板等大型、需要高精度的工件。機械內部針對振動、切屑處理做了完善的設計,從而獲得高品質的加工表面。
・FSW (摩擦攪拌銲接) 是一種不會熔化材料的銲接方法。相較於電子束焊接,FSW產生的殘餘應力和變形較小,而且可以銲接鋁合金和銅等材料。此方式不僅能縮短生產週期,同時也能降低設備投資成本。

QUICK TURN 系列

高精度加工規格 2軸CNC車床
搭載高精度主軸和驅動系統的,可加工最大Φ490mm的加工面

FJV-60/80 FSW

結合了FSW(摩擦攪拌銲接)功能的門型加工中心機
零件的銲接到切削加工,都能在一台機器上完成,大幅縮短生產週期

Smooth振動切削

Smooth振動切削是透過將切屑切成細小碎片,有效保護機台和工件表面,減少切屑所引起的問題。在自動化生產中,此功能被視為處理切屑的最佳選擇。振動切削的條件是由MAZATROL對話式自動決定。

INTEGREX i-H 系列

5軸同動控制 臥式複合加工機
從車削到Y軸、B軸的5軸加工,可整合多道加工工程,一機完成

INTEGREX i-V 系列

5軸同動控制 立式複合加工機
從車削加工、多面加工到5軸加工,可整合多道加工工程,一機完成

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