반도체

반도체는 스마트폰, 컴퓨터, 통신, 운송, 헬스케어 등 다양한 분야에서 없어서는 안 될 존재로서 우리의 삶과 사회의 발전에 기여하고 있습니다. AI, 자율주행, 메타버스 등 새로운 기술이 구현됨에 따라 대규모 고급 데이터 처리에 대한 필요성이 커지고 있으며, 이로 인해 성능이 더욱 향상되고 생산량이 확대될 것으로 예상됩니다. 반도체 제조 장비는 다양한 모양과 재질의 부품을 사용합니다. 이러한 재료에는 스테인리스나 철, 알루미늄으로부터, 가공이 어려운 취성재료(brittle material) 석영유리(quartz glass), 카본 그라파이트(carbon graphite) 등의 특수 소재가 재료까지 다양합니다 이러한 재료를 가공하려면 고품질의 고급 가공 기술이 필요합니다 Mazak은 반도체 산업 분야에서 풍부한 경험과 성과를 보유하고 있으며, 탄탄한 기술력과 제품 역량을 바탕으로 신뢰성 높은 시스템 솔루션을 제공합니다.

반도체 제조장비 부품가공의 예시

해마다 가속하는 반도체의 미세화·적층화에 대응하기 위해, 차세대 반도체 제조 기술의 개발을 위한 대처가 활발해지고 있습니다 Mazak 은 주로 전 공정의 각 제조장치 부품가공에 필요한 미세가공, 내부식성이 뛰어난 난삭재·취성재료 필요한 가공기술과 칩 처리 시스템, 그리고 자동화 노하우를 제공하여 고부가가치 생산에 기여합니다.

Crucible (quartz glass)
터보분자 펌프(Turbomolecular pump)
히터(carbon/graphite)
게이트 밸브(Gate valve)
진공 챔버(Vacuum chamber)
웨이퍼 반송용 암(Wafer transport arm)
웨이퍼 포지셔닝 시스템(Wafer positioning system
패킹 플레이트(cooling plate)
샤워 헤드(Shower head)

다양한 부품 제조에 사용되는 Mazak의 공작 기계 및 자동화 시스템

당사는 대량 생산부터 고혼합, 소량 생산, 로봇과의 연동, 고유 시스템 소프트웨어까지 모든 것을 아우르는 자동화 시스템을 위한 원스톱 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 안정적인 정확도로 장기간 연속 작동을 가능하게 합니다.

PALLETECH 시스템

VARIAXIS i 시리즈 모델 및 HCN NEO 시리즈 모델과 통합된 PALLETECH 시스템
선삭기능이 있는 5축 가공기계와 수평형 머시닝센터를 이용한 자동화 시스템

취성소재(Brittle material) 가공

Mazak은 석영유리(quartz glass), 카본 그라파이트(carbon graphite) 등의 취성소재를 가공하는 동안 발생하는 미세한 칩과 슬러지의 유입을 막기 위한 방진 대책이 장착된 공작기계를 제공합니다. 또한, 우리는 건식 가공을 위한 집진 시스템과 습식 가공을 위한 여과 시스템도 제공합니다. 당사의 제품 라인업에는 양산가공을 위한 광범위한 옵션도 포함되어 있습니다.

MEGA TURN 시리즈

수직형 CNC선반
플랜지, 플레이트 등 원통형 부품의 고효율 가공

FJV 시리즈(BT50)

고정밀 더블 컬럼 머시닝센터
더블 컬럼 구조를 활용한 대형 작업물에 적합한 다양한 테이블 사양

쉐이핑(Shaping) 가공

5축 가공 센터와 멀티태스킹 머신을 사용하여 진공 챔버를 가공하면 선삭, 밀링, 셰이빙(shaving) 작업을 1대의 기계로 통합할 수 있습니다.

VARIAXIS i 시리즈

동시 5축 수직형 머시닝센터
챔버, 플레이트, 웨이퍼 수송 장치 부품을 포함한 광범위한 부품 가공

INTEGREX e-V 시리즈

동시 5축 수직형 멀티태스킹 머신
선삭 및 다면 가공에서 5축 가공까지 프로세스 통합을 통해 단일 기계 내에서 형상 가공의 추가 기능을 사용할 수 있습니다

HCN NEO 시리즈

고속 및 고정밀 수평형 머시닝센터
선삭 가공에서 다면 가공, 5축 가공을 이 1대로 공정집약. 쉐이핑 가공도 가능

복잡한 형상의 가공

Mazak의 멀티태스킹 머신은, 진공 펌프의 임펠러와 같은 복잡한 모양의 부품을 공정 분할 없이 한 번의 설정으로 가공을 완성합니다.
건식 펌프의 로터 샤프트를 가공할 때 선삭 및 밀링과 같은 공정을 통합하여 리드 타임을 크게 줄일 수 있습니다.

INTEGREX i-H 시리즈

동시 5축 수평형 멀티태스킹 머신
Y축과 B축을 이용한 선삭부터 5축 가공까지 다양한 공정을 처리할 수 있는 장비입니다.

INTEGREX e-H 시리즈

길고 큰 직경의 공작물을 위한 수평형 멀티태스킹 머신
대형 Y축 스트로크, 고출력 터닝 스핀들, 밀링 스핀들을 탑재한 대규모 가공용 기계

고정밀 가공 / FSW(마찰교반용접)

CNC 선반은 대구경 작업물을 가공할 수 있으므로 냉각판 및 기타 이와 유사한 품목의 고정밀 가공에 이상적입니다. 또한 진동 및 칩에 대한 포괄적인 대책을 갖추어 고품질의 가공 표면을 구현했습니다.
SW(마찰 교반 접합)는, 재료를 용해하지 않는 접합 방법입니다. 전자빔 용접에 비해 잔류응력 및 변형이 적으며, 알루미늄 합금과 구리도 접합할 수 있습니다. FSW는 리드타임을 단축하고 장비 설치 비용을 줄여줍니다.

QUICK TURN 시리즈

고정밀 2축 CNC선반
최대 Φ490mm의 표면을 가공할 수 있는 고정밀 스핀들과 구동 시스템을 갖춘 머신

FJV-60/80 FSW

FSW(마찰교반용접)를 갖춘 더블 컬럼 머시닝센터
이 기계 하나로 용접에서 절단에 이르기까지 모든 것을 처리할 수 있어 리드 타임이 크게 단축됩니다

Smooth 오실레이션 컷팅

부드러운 진동 절단은 칩을 작은 조각으로 절단하여 기계와 작업물 표면을 보호하고 칩으로 인한 문제를 줄여줍니다. 자동화된 칩 폐기를 위한 완벽한 선택입니다. 부드러운 진동 절삭 조건은 MAZATROL에 의해 자동으로 결정됩니다.

INTEGREX i-H 시리즈

동시 5축 수평형 멀티태스킹 머신
Y축과 B축을 이용한 선삭부터 5축 가공까지 이 ​​하나의 기계로 여러 공정을 처리할 수 있습니다.

INTEGREX i-V 시리즈

동시 5축 수직형 멀티태스킹 머신
선삭 가공에서 다면 가공, 5축 가공까지 하나의 기계로 공정 통합

제품 관련 문의

자세한 내용은 Mazak에 문의하십시오.